Sensitivity 高灵敏度

Axis Supra+具备极佳的采谱和成像灵敏度。
Axis Supra+独特的高功率X射线源和浸入式磁透镜设计确保获取极高的灵敏度。高灵敏度可实现在短时间收集数据。Axis Supra+的高灵敏度有效保证低含量元素及低光电子截面的轻元素的测定。

钠离子电池正极材料全谱,扩展区域为微量元素,左上(插图)为高分辨率的Mn 3s高分辨谱图,表明Mn为Mn4+
Usability 易用性

ESCApe软件使用户与谱仪的交互简单化和智能化,可以进行谱仪的控制、数据的采集和分析。实现了硬件自动化、数据采集和处理自动化。ESCApe群组阵列分析功能可以获得样品特定区域内表面元素信息。

铜纳米粒子在石墨衬底上不均匀分布的群组阵列分析(颜色比例表示元素相对浓度)
Parallel XPS imaging 高空间分辨率

Axis Supra+具备独特的球面镜分析器和专利的二维阵列延迟线检测器,可以同时记录光电子的信号强度及其发射位置,亦可以在数秒的时间里获取完整的XPS谱图,可获得高空间分辨率的快速平行成像,空间分辨率优于1um,且易于从图像数据集获取每个像素点的谱图。

PEG涂层对PP医用网状植入物的包覆情况:图中绿色显示主要为C-O分布,PEG覆盖程度较好;红色主要为C-C分布,表面PEG基本未覆盖;黄色区域则为PEG与PP共存的区域
Resolution 高化学状态分辨率

高分辨率的重要性
XPS作为一种重要的表面分析技术,分辨率是评估仪器性能的重要指标,通常会Ag3d5/2的半高宽用来衡量仪器分开两个光电子能量接近的峰的能力。要正确评估仪器的性能,必须在给定能量分辨率的条件下同时给出计数率。
决定仪器分辨率的因素
如果云顶国际假设XPS的谱线是由几个高斯峰的卷积,则测试获得的XPS谱线的宽度是由三部分构成的,即发射谱线的宽度、X射线源的展宽和检测系统的展宽:

其中WA是发射谱线的线宽,WX是X射线的线宽,而WD是检测系统的展宽;
发射谱线的宽度是本征的,由其电子能级本身决定,无法通过仪器的参数来改变;X射线源的展宽对特定的X射线源也是固定的,但是可以通过仪器的硬件设置改变,例如是否使用单色化的X射线源--500mm罗兰圆的单色化的Al Ka线宽0.25eV,非单色化则为0.85eV,所以使用单色化光源的分辨率就好于非单色化的X射线源;仪器的半球能量分析器半径和通能共同决定了检测系统的展宽--能量分析器半径越大,本征的能量分辨就越好。
Axis Supra+采用500mm罗兰圆、大平均半径的双聚焦半球能量分析器,可以获得更高的能量分辨。

Si衬底上自然氧化物采集的高能量分辨Si 2p窄扫描
Automation 自动化及智能化技术

● 可一次装入3个样品条,样品条可在进样室和分析室之间自动传输,并可在分析室中实现自动交换
● 高吞吐量、快速队列样品分析模式实现连续分析
● 样品在预抽期间可进行分析区域和数据采集方法的设定
● 软件切换单色化Al及高能AgLa X射线源靶点,快速简便切换靶材
● 智能化数据采集及拟合
. Data Dependent Acquisition (DDA) -对于未知的样品,软件智能识别所含元素并智能设定高分辨谱的采谱区间,同时可以删掉不关注的元素,也可以增加特别关注的、全谱扫描可能检测(识别)不出来的元素。
. Known sample workflow (KSW) -根据一个已知样品的数据处理(解谱)结果,将解谱模型套用到一系列的同类(类似)样品的数据上,一次性地批量处理(解谱)所有样品。

KSW工作流程示例
Additional Analytical Techniques 高扩展性
AXIS SUPRA+ 具备了高度的自动化、并结合丰富的灵活性,可以拓展多种样品制备和表面分析技术如:
- HAXPES 单色化高能X射线源
- UPS 紫外光电子能谱
- ISS 离子散射谱
- AES 俄歇光电子能谱
- EDX 能量色散X射线光谱
- REELS 反射式电子能量损失谱
以及样品处理装置:
- 加热制冷
- 超低温附件
- 高温催化反应池
- 惰性气体传输器
- 手套箱
- 原位多电极充放电
除上述技术外,也可拓展其他的表面分析技术及样品处理附件。
产品特色
● 自动化技术,快捷智能工作流程适合多用户环境。
● 多种X射线源可选:有效保证低含量元素测定;有效区分光电子峰和俄歇峰;确保小束斑模式下精细的灵敏度。
● 大平均半径的双聚焦半球能量分析器,可以获得精细的能量分辨。
● 全自动超低能无阴影荷电中和器,对于不同类型样品可实现准确的电荷中和。
● 快速平行成像功能简单易行,可以快速获得高能量分辨的化学状态图像。
● 多模式团簇离子枪自动选择离子源模式保证不同材料的在不破坏化学键的前提下高速刻蚀