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10-1 Si板上的SiO2图案观察例

 

Si板上的SiO2图案观察例

表面形貌𒈔像(左图)中明亮的部分为ღSiO2。电流像(右图)中的明暗与表面形貌像相反。可知Si基板上存在不通电的部分。(使用电流测定系统)