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SPM-9700HT - 特点

Scanning Probe Microscope

HT扫描器-高速反馈,高速扫描

 

缩短观察时间  高通量扫描
通过新开发的可快速响应的HT扫描器以及软件与控制系统设计的优化,成功实现以❀传统设备5倍以上的速✅度(与本公司相比)获取图像数据。

扫描器可简单更换,因而⛄可使用传统扫描器。另外,可通过在原SPM-9700上追加HT扫描器,实现设备的高效率分꧋析。

分析案例

 金属蒸镀膜的表面粗糙度分析

以1Hz和5Hz的扫描速度对金属蒸镀膜的表面形貌进行观察。画质及表面粗糙度的分析结果相同。

 

 光栅沟槽形状检测

以1Hz和5Hz的扫描速度对光栅的表面形貌进行观察。经过断面形状分析,沟槽形状检测结果均相同。

探针专家-便捷操作,轻松换探针

 

探针安装夹具——“探针专家”(选配)

可轻松地准确安装探针。

安装顺序:
① 将探针架安装在探针安装夹具上。
② 将探针置于滑动台上。
③ 将探针插入探针架并固定,保持探针能够滑动。

头部滑动机构-高稳定性&高速分析处理

光杠杆系统和悬臂💖合为一体的头部机构,仅通过整体滑动设置即可实现样品更换。激光连续照射,维持高稳定性。无需调整光轴中断激光照射,从而缩短分析时间。

高稳定性
维持高刚性,光杠杆系统可作为一体滑动

高速分析处理
维持高刚性,成功地开放了样品周围的空间

高稳定性
·样品交换式也可保持激光稳定照射悬臂
·不受震动、声音和外界影响,无需专门的风挡
·内置减震器

SPM-9700HT  高稳定性的秘诀
维持高稳定性的构造 –不同激光照射方式下的稳定性比较-

 
高速分析处理
·无需拆除悬臂架即可进行样品交换。
·在SPM观测时,也可接触样品。
·无论样品的厚薄,可自动驱近到更适宜的观测位置。
 
SPM-9700HT 高速分析处理的秘诀
优异的操作性能  -样品更换的分析处理比较-
 


 

鼠标操作即可实现丰富的3D图像显示

SPM-9700HT仅用鼠标即可实现🥃旋转、放大🔥缩小、Z轴倍率的自由变化,调节图像角度和倍率。更有将高度信息和其他物理信息重合显示的质感功能和3D断面形状分析功能,由此实现高度分析,提高图像确认的效率。

放大缩小

旋转

Z轴倍率变化

质感功能
能够将高度信息和其它的物理性信息重合显示。两者关系也可明确显示。

3D断面形状分析
能够在3D显示时进行断面形状分析。质感功能显𒀰示物理性信息时,也可在同一位置分别显示各种各样的断面形状,并进行分析。

从观察到分析实现无拘无束的可操作性

从在线观察到离线分析采用无界限约束的新界面(GUI)设计,实现了从观察操作观察位置结果分析的简单便捷操作。

 

操作简单明确
从启动到观察、分🥂析,均无复杂的设定,轻松点击鼠标即可进行操作。 自动进针,自动扫描,全程保护探针不受损伤,同时保证图像分辨率和探针寿命。

 
 

在管理画面上选择观察模式。

按照操作指南的步骤进行操作,即可轻松完成。

单击“开始观察”按键,从驱近样品表面到进行分析全过程实现自动。兼顾探针保护、操作便利和图像分辨率。

无需切换至在线状态,即可对之前获取的图像进行确认。

通过丰富的图像显示、处理、分析功能,尽显完好的观察结果,并可进行定量分析显示。

 
 

观察位置简单明确

 

至多可同时显示8组画面,可以实时对形貌和无形等多组图像进行比较。

可以在一个以观察的较大的区域,🐽通过自由导航功能引导进一步观察任何一个指定的特定区域。已保存的图像数据也可作为参照表示 。

观察结果简单明确

可以边观察边在在线画面上测定断面形状。

 

能够将之前的图像数据与观察中的图像数据同时显示比较。

丰富的扫描功能

通过观察到的图像数据的个点测定力曲线,能够观察出样品的机械特性和吸着力的分布。

 

可以对样品的扫描方式、探针与样品间力、加载电压等参数进行编程,并按设定要求进行观察。

 

满足所有要求的功能和扩展性

丰富的设定模式,不ꦍ仅可以显示样品形状,更可获得反应电流、电位、硬度和粘弹性等样品表面物理信息的图像。

标配

接触模式
悬臂和样品保持接触,观察样品表面形状的一种模式

动态模式
悬臂在震动的状态下观察样品表面形状的一种模式

相位模式
动态模式的性能扩展,样品表面性质的差异会导致悬臂相位的延迟,由此观察表面物理信息的一种模式

水平力模式
检测悬臂的工作水平力(摩擦力)的一种模式

标配

力调制模式
接触模式的性能扩展,观察样品表面物理信息的一种模式

力曲线模式
可以将悬臂与样品的作用力变化用图显示出

选配

电流模式
测量悬臂与样品间流过的电流分布的一种模式

表面电位模式
观察样品表面电位分布的一种模式

选配

磁力模式
观察样品表面磁性信息的一种模式

矢量扫描模式
悬臂可在样品表面任意移动的功能

溶液中观察模式
使用培养皿,在溶液中观察样品表面

电化学反应的观察模式
使用电化学反应溶液池,观察反应下的样品表面

接触模式AFM

悬臂和样品始终保持接触,控制悬臂与样品之间的相互෴作用保持一定状态下,扫描样品表面的模式。这是典型的AFM模式,可以得到目前🌞更高分辨率图像。

云母的原子图像(使用充气平台)

动态模式AFM

悬臂在谐✃振频率附近震动。在悬臂震动的状态下悬臂接近样品时振幅会发生变化。利用这种现象,在保持振幅不变的状态下进行扫描,获得样品高度方𝐆向的变化数据。

蓝宝石的原子台阶

质粒DNA

相位模式

在动态模式扫描中,由于样品表面性质的差异会导致悬臂相位的延迟,据此可以图像化显示被测样🍎品表面的物理性质差异。

高分子片晶 表面形貌像

相位像

水平力(LFM)

垂直于悬臂的长度方向的扫描,通过检测悬臂的弯曲量变化,可以检测样品表🍒面受🥂到的水平力(也叫摩擦力)的大小。

白金层 表面形状

LFM像

力调制模式

悬臂和样品的接触扫描过程中👍,悬臂周期性的压入样品,将产生的响应分离成振幅和相位后进行图像化,这样可以测量样品表面的不同物理性质并能进行图像化显示。

聚丙烯膜 表面形状像

振幅像

力曲线模式

扫描中,悬臂和样品的距离在不断变化,可以用曲线表示悬臂的作用力变化

电流模式

接触模式扫描中,在悬臂和样品间加上一个偏压,就可以测量悬臂和样品间流过的电流。

碳电阻 表面形貌像

电流像

表面电势模式(KFM)

在导电悬臂和样品之间加上交流电压,可以检测出𒐪悬臂-样品表面间相互作用的电场力和样品表面的电势分布情况。

分散剤 表面形状像

電位像

磁力模式(MFM)

将磁化的悬臂离开样品表面扫描,检测出漏磁场与磁力,将样品的磁性化信息图像化。

软盘 表面形貌像

MFM像

矢量扫描

可以对样品的扫描方式、探针与样品间力、加载电压等参数进行编程,并按设定要求进行观察。

硅基板上的金镀气层 表面形貌像

KFM像

溶液中观察(培养皿型溶液池)

样品固定在培养皿的底部,探针在溶液中进行扫描,实现AFM在溶液环境下的观察。

亲水性高分子 大气中

溶液中

电化学反应观察 (电化学反应溶液池)

在电解溶液中通过电化学反应,使用AFM观察样品表面的变化。采用标准3电极🐓(作用电极、对极、参照电极)。

铜板 表面形状像

cyclic voltammetric 3次反复

粒度分析软件(选配)

颗🐲粒分析软件是在SPM-9700HT的图像数据中选取颗൩粒,针对每个颗粒计算其特征量,同时进行分析、显示以及统计时使用的软件。能够对以下丰富的特征量和计算出的各特征量的统计数据进行一览显示,可更换数据前后顺序并可以图形显示。

特征量 统计量
  • 重心X
  • 重心Y
  • 绝对最大直径
  • 宽度
  • 水平费雷特直径
  • 垂直费雷特直径
  • 圆相对半径(除去孔洞)
  • 圆相对半径(包含空洞)
  • 平均半径
  • 平均半径的偏差
  • 重心间的最小距离
  • 周长
  • 颗粒圆周长
  • Z的最大值
  • Z的最小值
  • Z的平均值
  • 颗粒周边的Z的平均值
  • 除去孔洞的面积
  • 包含孔洞的面积
  • 表面积
  • 体积
  • 方向
  • 2次元惯性力矩的主轴角度
  • 占有率
  • 面积率
  • 扁平率
  • 圆形程度
  • 凹凸程度
  • 针状程度
  • 平均
  • 标准偏差
  • 平均长度
  • 平均面积
  • 平均体积
  • 合计
  • 最大值
  • 最小值
  • 标记最大值
  • 标记最小值
  • 范围
  • 颗粒数

分析例


薄膜(□5μm)


大肠杆菌(□30μm)



选出颗粒·分类结果



选出颗粒·标记结果



平均半径的柱状图表示



绝对最大直径和针状程度相关的表示图

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